。因?yàn)榈毒咴诩庸み^程中與電阻體接觸會(huì)產(chǎn)生導(dǎo)電現(xiàn)象,因此會(huì)造成測(cè)量數(shù)據(jù)的偏差
,無法反饋控制
,這樣就難以實(shí)現(xiàn)高精度修刻。銑刀自動(dòng)修刻還會(huì)產(chǎn)生大量的導(dǎo)電顆粒與粉塵
,影響電阻測(cè)量值
。長期重復(fù)作業(yè),刀具也難免會(huì)產(chǎn)生磨損
,這都將影響電阻板的修刻線性精度
。
高精度激光修刻機(jī)采用新型激光加工技術(shù),激光束光點(diǎn)打在電阻板碳膜表面
,使其熔融蒸發(fā)
,以改變電阻板的有效導(dǎo)電面積,達(dá)到調(diào)整單位阻值的目的
。激光修刻技術(shù)因?yàn)闊o接觸加工
,不存在刀具磨損情況。激光束的能量與速度可調(diào)
,加工過程中
,其光斑溫度可達(dá)10000℃以上
,可以進(jìn)行精密氣化加工,不影響附近區(qū)域材料的力學(xué)性能
。同時(shí)激光束易于導(dǎo)向
,容易與數(shù)控系統(tǒng)配合,實(shí)現(xiàn)對(duì)精密材料的加工
。激光修刻技術(shù)應(yīng)用于傳感器加工工藝
,可大幅提高直線位移傳感器的線性精度。